微電子器件老化篩選測試流程
作者：
salmon范
編輯：
瑞凱儀器
來源：
m.hlgsj12.cn
發(fā)布日期： 2020.12.01
1、流程
艦船通用微電子器件的老化篩選項月，一般都與個或多個故障模代有關。所以其老化篩選的順序大有講究，本文推薦的艦船通用微電子器件老化篩選順序（流程）是：
常溫初測、低溫測試、高溫測試、高低溫沖擊動態(tài)老化/高溫存儲檢漏常溫終測這里的/是條件或。即如果已做動態(tài)老化，高溫存儲可?。喝绻捎跅l件限制做不了動態(tài)老化，那么可用高溫存儲作補償性篩選。
2、技術條件和方法
2.1常溫初/終測
2.1.1條件
檢測的環(huán)境溫度：23℃±2℃
確保被檢器件在檢測的環(huán)境溫度下已保持30min。
2.1.2方法
在有能力檢測被測器件的測試系統(tǒng)上，按器件數(shù)據(jù)手冊的技術要求檢測器件是否滿足規(guī)定的各項指標要求。一般，這些測試系統(tǒng)需要經(jīng)過認可/計確認，測試軟件經(jīng)過認可/計量確認。
2.2低溫測試
2.2.1條件
檢測的環(huán)境溫度：工作Tmin ±3℃
確保被檢器件在檢測的環(huán)境溫度下已保持120min。
2.2.2方法
在有能力檢測被測器件的測試系統(tǒng)上，按器件數(shù)據(jù)于冊的技術要求檢測器件是否滿足規(guī)定的各項指標要求。一般，這些測試系統(tǒng)需要經(jīng)過認可/計量確認，測試軟件經(jīng)過認可/計量確認。
2.3高溫測試
2.3.1條件
檢測的環(huán)境溫度：工作Tmax±3℃
確保被檢器件在檢測的環(huán)境溫度下已保持120min。
2.3.2方法
在有能力檢測被測器件的測試系統(tǒng)上，按器件數(shù)據(jù)手冊的技術要求檢測器件是否滿足規(guī)定的務項指標要求。一般，這些測試系統(tǒng)蓿要經(jīng)過認可/計量確認，測試軟件經(jīng)過認可/計量確認。
2.4高低溫沖擊
2.4.1條件
沖擊低溫：存儲/工作 Tmin ±3℃
沖擊高溫：存儲/工作 Tmax
±3℃
沖擊保持時間：30min。
沖擊交替時問：<3min。
沖擊交替次數(shù)：5次。
2.4.2方法
2.4.2.1 .二箱法
本方法使用兩箱式冷熱沖擊試驗箱完成試驗。從常溫開始，將非工作狀態(tài)的器件放入低溫箱，使其達到存儲/工作Tmin±3℃，保持30min,取出被試件在常溫下放置2-3min，再放入溫度已達存儲/工作Tmax±3℃的高溫箱，保持30min。取出被試件在常溫下放置2-3min，再放入溫度已達存儲/工作Tmin±3℃的，低溫箱，保持30min
...，如此循環(huán)重復5次。剔除外觀受損部分。一般，這些試驗設備也需要經(jīng)過認可/計量確認。
2.4.2.2一箱法
在三箱式（換氣式）冷熱沖擊試驗箱上完成，將試驗箱的二個試區(qū)溫度分別置為：存儲/工作Tmin±3℃和存儲/工作Tmax±℃，并設置它相關的試驗參數(shù)和上作參數(shù)。將受試作放入低溫區(qū)開始試驗。應確保試驗從低溫開始并能白動切換5個循環(huán)。一般，這些試驗設備也需要經(jīng)過認可/計量確認。
2.5動態(tài)老化3.5.1條件
老化的環(huán)境溫度：工作Tmax±3℃
老化時間：48h/96h。
2.5.2方法
在步入式高溫老化房上完成，按器件數(shù)據(jù)手冊規(guī)定的技術要求設定老化電源、電流、電壓等具體的老化條件。確保每個被試器件已安全地固定在相應老化板的老化夾具上，并確保老化器件的每個輸入管腿都有圖形脈沖進入。一般，這樣的老化系統(tǒng)也需要經(jīng)過認可/計量確認。48h/96h應由客戶或程序文件確定。
2.6高溫存儲3.6.1條件
高溫存貯溫度：存貯/工作Tmax±3℃
高溫存貯時間：48h/96h
2.6.2方法
將元器件放在滿足試驗能力要求的高低溫試驗箱中，設置高溫存貯溫度和保持時間，啟動試驗，當溫度到達Tmax后確保保持96h，取出自然降溫。一般，這樣的設備也需要經(jīng)過認可/計崇確認。48h/96h
應由客戶或程序文件確定。
2.7粗檢漏
2.7.1條件
檢漏液沸點溫度：120℃±5℃
確保被檢器件能承受該溫度，否則不進行粗檢漏。如：民品器件。
確保檢漏液無大于1um粒子，否則過濾后再使用。
2.7.2方法
將被檢器件放入加壓容器，充氮氣達411Kpa保持2h。然后,將恢復常壓的被檢件逐個放入120℃±5℃的檢漏液中，確保被檢件淹沒深度超過5cm.借助放大鏡觀察30s 以上，剔除連續(xù)旨泡者。一般，這樣的壓力容器和壓力表也需要經(jīng)過認可/計量確認。
3、試檢判別依據(jù)
3.1測試判別依據(jù)
常溫初/終測、高、低溫測試的判別依據(jù)是由各微電子器件生產(chǎn)廠商發(fā)布的柑應器件于冊所規(guī)定的技術指標。在無本手冊的前提下，不同商規(guī)定的技術指標可參照執(zhí)行。測試時，只要存在一項指標不合格，該器件應視為不合格品處置。在這樣的情況下，后序的篩選過程不再執(zhí)行。除非該器件的不合格程度并不嚴重，同時已通知并經(jīng)用戶認可，方能繼續(xù)進行。
3.2試驗判別依據(jù)
3.2.1高溫存儲/高低溫沖擊/動態(tài)老化判別依據(jù)
這兩項試驗的目的是加速/誘發(fā)微電子器件的早期失效。一般存在缺陷的器件在早期失效后不能恢復，由于高低溫沖擊/動態(tài)老化設備，無能力對其電氣特性是否發(fā)生了變化進行判別，所以對高低溫沖擊/動態(tài)老化后的器件的性能判別將在終測時進行。此時只需要對高低溫沖擊/動態(tài)老化后的器件進作肉眼觀察，看其外觀物理狀態(tài)是否發(fā)生了明顯的變化，例如：龜裂、爆炸等等，如果有這類情況，器件應立即剔除，不再參加以后的篩選試驗。
3.2.2粗檢漏判別依據(jù)
根據(jù)粗檢漏的技術條件和要求，用放大鏡觀察浸入高溫檢漏液的器件，剔除連續(xù)詈泡者。
4、記錄和報告
在微電子器件的老化篩選過程中，對本文推薦流程的每個階段都應形成記錄，并出具一個初測報告、低溫測試報告、高溫測試報告、一個完整（包括高低溫沖擊和動態(tài)老化和粗檢漏）的試駿報告和一個終測報告。完整的試驗報告也應將所作的全部試驗條件和結(jié)果描述消楚。
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