質(zhì)量(Quality)和可靠性(Reliability)在一定程度上可以說(shuō)是IC產(chǎn)品的生命。質(zhì)量(Quality)就是產(chǎn)品性能的測(cè)量,它回答了一個(gè)產(chǎn)品是否合乎規(guī)格(SPEC)的要求,是否符合各項(xiàng)性能指標(biāo)的問(wèn)題;可靠性(Reliability)則是對(duì)產(chǎn)品耐久力的測(cè)量,它回答了一個(gè)產(chǎn)品生命周期有多長(zhǎng),簡(jiǎn)單說(shuō),它能用多久的問(wèn)題。所以說(shuō)質(zhì)量(Quality)解決的是現(xiàn)階段的問(wèn)題,可靠性(Reliability)解決的是一段時(shí)間以后的問(wèn)題。知道了兩者的區(qū)別,我們發(fā)現(xiàn),Quality的問(wèn)題解決方法往往比較直接,設(shè)計(jì)和制造單位在產(chǎn)品生產(chǎn)出來(lái)后,通過(guò)簡(jiǎn)單的
高壓加速老化試驗(yàn)箱測(cè)試,就可以知道產(chǎn)品的性能是否達(dá)到SPEC的要求,這種測(cè)試在IC的設(shè)計(jì)和制造單位就可以進(jìn)行。相對(duì)而言,Reliability的問(wèn)題似乎就變的十分棘手,這個(gè)產(chǎn)品能用多久,誰(shuí)會(huì)能保證今天產(chǎn)品能用,明天就一定能用?
為了解決這個(gè)問(wèn)題,人們制定了各種各樣的標(biāo)準(zhǔn),如: JESD22-A108-A、EIAJED- 4701-D101,注:JEDEC(Joint Electron Device Engineering Council)電子設(shè)備工程聯(lián)合委員會(huì),著名國(guó)際電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化組織之一;EIAJED:日本電子工業(yè)協(xié)會(huì),著名國(guó)際電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化組織之一。
在介紹一些目前較為流行的Reliability的測(cè)試方法之前,我們先來(lái)認(rèn)識(shí)一下IC產(chǎn)品的生命周期。典型的IC產(chǎn)品的生命周期可以用一條浴缸曲線(Bathtub
Curve)來(lái)表示。
Region (I) 被稱為早夭期(Infancy period)
這個(gè)階段產(chǎn)品的 failure rate 快速下降,造成失效的原因在于IC設(shè)計(jì)和生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷;
Region (II) 被稱為使用期(Useful life period)
在這個(gè)階段產(chǎn)品的failure
rate保持穩(wěn)定,失效的原因往往是隨機(jī)的,比如溫度變化等等;
Region (III) 被稱為磨耗期(Wear-Out period)
在這個(gè)階段failure rate 會(huì)快速升高,失效的原因就是產(chǎn)品的長(zhǎng)期使用所造成的老化等。
認(rèn)識(shí)了典型IC產(chǎn)品的生命周期,我們就可以看到,Reliability的問(wèn)題就是要力圖將處于早夭期failure的產(chǎn)品去除并估算其良率,預(yù)計(jì)產(chǎn)品的使用期,并且找到failure的原因,尤其是在IC生產(chǎn),封裝,存儲(chǔ)等方面出現(xiàn)的問(wèn)題所造成的失效原因。
下面就是一些 IC產(chǎn)品可靠性等級(jí)測(cè)試項(xiàng)目(IC Product Level reliability test items )
一、使用壽命測(cè)試項(xiàng)目(Life test items):EFR, OLT (HTOL), LTOL
①EFR:早期失效等級(jí)測(cè)試( Early fail Rate Test )
目的:評(píng)估工藝的穩(wěn)定性,加速缺陷失效率,去除由于天生原因失效的產(chǎn)品。
測(cè)試條件: 在特定時(shí)間內(nèi)動(dòng)態(tài)提升溫度和電壓對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)試
失效機(jī)制:材料或工藝的缺陷,包括諸如氧化層缺陷,金屬刻鍍,離子玷污等由于生產(chǎn)造成的失效。
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):JESD22-A108-A
;EIAJED- 4701-D101 。
②HTOL/ LTOL:高/低溫操作生命期試驗(yàn)(High/ Low Temperature Operating Life )
目的:評(píng)估器件在超熱和超電壓情況下一段時(shí)間的耐久力
測(cè)試條件:125℃,1.1VCC, 動(dòng)態(tài)測(cè)試
失效機(jī)制:電子遷移,氧化層破裂,相互擴(kuò)散,不穩(wěn)定性,離子玷污等
參考標(biāo)準(zhǔn):
125℃條件下1000小時(shí)測(cè)試通過(guò)IC可以保證持續(xù)使用4年,2000小時(shí)測(cè)試持續(xù)使用8年;
150℃ 1000小時(shí)測(cè)試通過(guò)保證使用8年,2000小時(shí)保證使用28年。
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn) :MIT-STD-883E
Method 1005.8 ;JESD22-A108-A ;EIAJED- 4701-D101 。
二、環(huán)境測(cè)試項(xiàng)目(Environmental test items)
PRE-CON, THB, HAST, PCT, TCT, TST, HTST, Solderability Test, Solder Heat Test
①PRE-CON:預(yù)處理測(cè)試(
Precondition Test )
目的:模擬IC在使用之前在一定濕度,溫度條件下存儲(chǔ)的耐久力,也就是IC從生產(chǎn)到使用之間存儲(chǔ)的可靠性。
測(cè)試流程(Test Flow):
Step 1:超聲掃描儀 SAM (Scanning Acoustic Microscopy)
Step
2: 高低溫循環(huán)(Temperature cycling )
-40℃(or lower) ~ 60℃(or higher) for 5 cycles to simulate shipping conditions
Step 3:烘烤( Baking )
At minimum 125℃ for 24 hours
to remove all moisture from the package
Step 4:浸泡(Soaking )
Using one of following soak conditions
-Level 1: 85℃ / 85%RH for 168 hrs (儲(chǔ)運(yùn)時(shí)間多久都沒(méi)關(guān)系)
-Level 2: 85℃ / 60%RH for 168 hrs (儲(chǔ)運(yùn)時(shí)間一年左右)
-Level 3: 30℃ / 60%RH for 192 hrs (儲(chǔ)運(yùn)時(shí)間一周左右)
Step5:Reflow (回流焊)
240℃ (- 5℃) / 225℃
(-5℃) for 3 times (Pb-Sn)
245℃ (- 5℃) / 250℃ (-5℃) for 3 times (Lead-free)
* choose according the package size
Step6:超聲掃描儀 SAM (Scanning Acoustic
Microscopy)
BGA在回流工藝中由于濕度原因而過(guò)度膨脹所導(dǎo)致的分層/裂紋
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):JESD22-A113-D;EIAJED- 4701-B101。
評(píng)估結(jié)果:八種耐潮濕分級(jí)和車間壽命(floor life),請(qǐng)參閱 J-STD-020。
注:對(duì)于6級(jí),元件使用之前必須經(jīng)過(guò)烘焙,并且必須在潮濕敏感注意標(biāo)貼上所規(guī)定的時(shí)間限定內(nèi)回流。
提示:濕度總是困擾在電子系統(tǒng)背后的一個(gè)難題。不管是在空氣流通的熱帶區(qū)域中,還是在潮濕的區(qū)域中運(yùn)輸,潮濕都是顯著增加電子工業(yè)開支的原因。由于潮濕敏感性元件使用的增加,諸如薄的密間距元件(fine-pitch
device)和球柵陣列(BGA, ball grid array),使得對(duì)這個(gè)失效機(jī)制的關(guān)注也增加了?;诖嗽?,電子制造商們必須為預(yù)防潛在災(zāi)難支付高昂的開支。吸收到內(nèi)部的潮氣是半導(dǎo)體封裝的問(wèn)題。當(dāng)其固定到PCB板上時(shí),回流焊快速加熱將在內(nèi)部形成壓力。這種高速膨脹,取決于不同封裝結(jié)構(gòu)材料的熱膨脹系數(shù)(CTE)速率不同,可能產(chǎn)生封裝所不能承受的壓力。當(dāng)元件暴露在回流焊接期間升高的溫度環(huán)境下,陷于塑料的表面貼裝元件(SMD, surface mount device)內(nèi)部的潮濕會(huì)產(chǎn)生足夠的蒸汽壓力損傷或毀壞元件。常見的失效模式包括塑料從芯片或引腳框上的內(nèi)部分離(脫層)、金線焊接損傷、芯片損傷、和不會(huì)延伸到元件表面的內(nèi)部裂紋等。在一些極端的情況中,裂紋會(huì)延伸到元件的表面;嚴(yán)重的情況就是元件鼓脹和爆裂(叫做“爆米花”效益)。盡管現(xiàn)在,進(jìn)行回流焊操作時(shí),在180℃
~200℃時(shí)少量的濕度是可以接受的。然而,在230℃ ~260℃的范圍中的無(wú)鉛工藝?yán)?,任何濕度的存在都能夠形成足夠?qū)е缕茐姆庋b的小爆炸(爆米花狀)或材料分層。必須進(jìn)行明智的封裝材料選擇、仔細(xì)控制的組裝環(huán)境和在運(yùn)輸中采用密封包裝及放置干燥劑等措施。實(shí)際上國(guó)外經(jīng)常使用裝備有射頻標(biāo)簽的濕度跟蹤系統(tǒng)、局部控制單元和專用軟件來(lái)顯示封裝、測(cè)試流水線、運(yùn)輸/操作及組裝操作中的濕度控制。
②THB: 加速式溫濕度及偏壓測(cè)試(Temperature Humidity Bias Test )
目的:評(píng)估IC產(chǎn)品在高溫,高濕,偏壓條件下對(duì)濕氣的抵抗能力,加速其失效進(jìn)程。
測(cè)試條件:85℃,85%RH, 1.1 VCC, Static bias
失效機(jī)制:電解腐蝕
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):JESD22-A101-D;EIAJED- 4701-D122
Leakage failure
③高加速溫濕度及偏壓測(cè)試(HAST: Highly Accelerated Stress Test )
目的:評(píng)估IC產(chǎn)品在偏壓下高溫,高濕,高氣壓條件下對(duì)濕度的抵抗能力,加速其失效過(guò)程。
測(cè)試條件:130℃, 85%RH, 1.1 VCC, Static bias,2.3 atm
失效機(jī)制:電離腐蝕,封裝密封性
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):JESD22-A110
Au Wire Ball Bond
with Kirkendall Voiding
④PCT:高壓蒸煮試驗(yàn) Pressure Cook Test (Autoclave Test)
目的:評(píng)估IC產(chǎn)品在高溫,高濕,高氣壓條件下對(duì)濕度的抵抗能力,加速其失效過(guò)程。
測(cè)試條件:130℃, 85%RH, Static bias,15PSIG(2 atm)
失效機(jī)制:化學(xué)金屬腐蝕,封裝密封性
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):JESD22-A102;EIAJED- 4701-B123
*HAST試驗(yàn)箱與THB試驗(yàn)箱的區(qū)別在于溫度更高,并且考慮到壓力因素,實(shí)驗(yàn)時(shí)間可以縮短, 而PCT試驗(yàn)箱則不加偏壓,但濕度增大。
Bond pad corrosion
⑤TCT: 高低溫循環(huán)試驗(yàn)(Temperature Cycling Test )
目的:評(píng)估IC產(chǎn)品中具有不同熱膨脹系數(shù)的金屬之間的界面的接觸良率。方法是通過(guò)循環(huán)流動(dòng)的空氣從高溫到低溫重復(fù)變化。
測(cè)試條件:
Condition B:-55℃ to 125℃
Condition C: -65℃ to 150℃
失效機(jī)制:電介質(zhì)的斷裂,導(dǎo)體和絕緣體的斷裂,不同界面的分層
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):MIT-STD-883E
Method 1010.7;JESD22-A104-A;EIAJED- 4701-B-131
Ball neck broken by die top de-lamination after Temp cycling
⑥TST: 高低溫沖擊試驗(yàn)(Thermal Shock Test )
目的:評(píng)估IC產(chǎn)品中具有不同熱膨脹系數(shù)的金屬之間的界面的接觸良率。方法是通過(guò)循環(huán)流動(dòng)的液體從高溫到低溫重復(fù)變化。
測(cè)試條件:
Condition B: - 55℃ to 125℃
Condition C:- 65℃ to 150℃
失效機(jī)制:電介質(zhì)的斷裂,材料的老化(如bond wires), 導(dǎo)體機(jī)械變形
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):MIT-STD-883E
Method 1011.9;JESD22-B106;EIAJED- 4701-B-141
* TCT與TST的區(qū)別在于TCT偏重于package 的測(cè)試,而TST偏重于晶園的測(cè)試
Metal crack and metal shift after thermal Shock
⑦HTST: 高溫儲(chǔ)存試驗(yàn)(High
Temperature Storage Life Test )
目的:評(píng)估IC產(chǎn)品在實(shí)際使用之前在高溫條件下保持幾年不工作條件下的生命時(shí)間。
測(cè)試條件:150℃
失效機(jī)制:化學(xué)和擴(kuò)散效應(yīng),Au-Al 共金效應(yīng)
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):MIT-STD-883E
Method 1008.2;JESD22-A103-A; EIAJED- 4701-B111
Kirkendall Void
⑧可焊性試驗(yàn)(Solderability Test )
目的:評(píng)估IC leads在粘錫過(guò)程中的可靠度
測(cè)試方法:
Step1:蒸汽老化8 小時(shí)
Step2:浸入245℃錫盆中 5秒
失效標(biāo)準(zhǔn)(Failure Criterion):至少95%良率
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):MIT-STD-883E Method 2003.7;JESD22-B102。
poor solderability of the pad surface
⑨SHT Test:焊接熱量耐久測(cè)試( Solder Heat Resistivity Test )
目的:評(píng)估IC 對(duì)瞬間高溫的敏感度
測(cè)試方法:侵入260℃ 錫盆中10秒
失效標(biāo)準(zhǔn)(Failure Criterion):根據(jù)電測(cè)試結(jié)果
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):MIT-STD-883E Method 2003.7;EIAJED- 4701-B106。
三、耐久性測(cè)試項(xiàng)目(Endurancetest items )
Endurance
cycling test, Data retention test
①周期耐久性測(cè)試(EnduranceCycling Test )
目的:評(píng)估非揮發(fā)性memory器件在多次讀寫算后的持久性能
測(cè)試方法:將數(shù)據(jù)寫入memory的存儲(chǔ)單元,在擦除數(shù)據(jù),重復(fù)這個(gè)過(guò)程多次
測(cè)試條件:室溫,或者更高,每個(gè)數(shù)據(jù)的讀寫次數(shù)達(dá)到100k~1000k
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):MIT-STD-883E Method 1033
②數(shù)據(jù)保持力測(cè)試(Data Retention Test)
目的:在重復(fù)讀寫之后加速非揮發(fā)性memory器件存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的電荷損失
測(cè)試方法:在高溫條件下將數(shù)據(jù)寫入memory存儲(chǔ)單元后,多次讀取驗(yàn)證單元中的數(shù)據(jù)
測(cè)試條件:150℃
具體的測(cè)試條件和估算結(jié)果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):MIT-STD-883E Method 1008.2;MIT-STD-883E Method 1033
在了解上述的IC測(cè)試方法之后,IC的設(shè)計(jì)制造商就需要根據(jù)不用IC產(chǎn)品的性能,用途以及需要測(cè)試的目的,選擇合適的測(cè)試方法,限度的降低IC測(cè)試的時(shí)間和成本,從而有效控制IC產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠度。